對于氣浮大理石平臺伺服系統(tǒng)而言，理想的情況下控制策略能使輸出零延遲、零超調(diào)的反映輸入指令，即輸出跟蹤輸入指令的變化。但實(shí)際系統(tǒng)由于上述擾動的存在不可能使輸出復(fù)現(xiàn)輸入指令，這就需要根據(jù)伺服系統(tǒng)的實(shí)際情況選擇合適的控制策略，并在控制系統(tǒng)的魯棒性與精度之間取得平衡。
　　直線伺服系統(tǒng)無中間傳動環(huán)節(jié)，利用直線電機(jī)直接驅(qū)動定位運(yùn)動機(jī)構(gòu)。在這種情況下，各種擾動因素不經(jīng)過傳動環(huán)節(jié)“過濾”，直接作用到直線電機(jī)動子上，而傳動環(huán)節(jié)由于彈性變形的存在   程度上能夠起到減弱和干擾的影響。因而失去了傳動環(huán)節(jié)的“過濾”作用，氣浮大理石平臺直線伺服系統(tǒng)在控制上的難度要比旋轉(zhuǎn)電機(jī)伺服驅(qū)動系統(tǒng)大。直線伺服系統(tǒng)控制的重要難點(diǎn)就在于如何系統(tǒng)運(yùn)行過程中的各種擾動因素。
　　以PID為代表的經(jīng)典控制算法在運(yùn)動控制系統(tǒng)中應(yīng)用廣泛，具有算法簡單、良好的可配置性、魯棒性好等優(yōu)點(diǎn)。PID控制也成為了運(yùn)動控制系統(tǒng)中   基本的控制形式。雖然在、高加速度運(yùn)動系統(tǒng)中，單純靠PID控制器難以達(dá)到運(yùn)動性能指標(biāo)，但通過加入具有針對性的補(bǔ)償、校正等環(huán)節(jié)后，可以顯著   PID控制器的性能，包括響應(yīng)速度、定位精度、跟蹤誤差等。
　　1)干擾補(bǔ)償
　　提高系統(tǒng)抗干擾性能的一種   設(shè)想就是：采取具有針對性的校正措施，使得干擾對系統(tǒng)的影響   補(bǔ)償，從而實(shí)現(xiàn)整個系統(tǒng)對干擾具有不變性。干擾補(bǔ)償是在   范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)不變性的   辦法，其實(shí)質(zhì)是利用干擾來補(bǔ)償干擾，即直接或間接測量出干擾信號，并經(jīng)過適當(dāng)變換之后作為附加校正接入系統(tǒng)。Takaji對兩自由度控制結(jié)構(gòu)進(jìn)行變形，得出了目前應(yīng)用廣泛的干擾觀測器結(jié)構(gòu)，并給出了干擾觀測器參數(shù)確定的一般公式?；诖耍刂评碚摻缣岢隽嘶诟蓴_觀測器的干擾補(bǔ)償器，它可以使系統(tǒng)對于外界擾動具有較強(qiáng)的魯棒性。但是干擾觀測器也有其局限性，如對變化范圍過大的參數(shù)不確定性和非連續(xù)干擾的效果欠佳。
　　2)前饋校正
　　通過在反饋控制系統(tǒng)中引入前饋校正，不僅可以   系統(tǒng)的穩(wěn)態(tài)性能，而且還可以   系統(tǒng)的動態(tài)性能。分析其等效閉環(huán)傳遞函數(shù)，可以看出前潰校正引入了系統(tǒng)零點(diǎn)，因此具有擴(kuò)展頻帶，提高響應(yīng)速度的作用。Tomizuka提出了零相誤差跟蹤器(ZPETC)這種前饋控制器算法，這種控制策略的原理是零極點(diǎn)對消，即反饋環(huán)節(jié)的所有極點(diǎn)和零點(diǎn)，由于ZPETC原理較為簡單，容易實(shí)現(xiàn)，因此也在控制系統(tǒng)中   廣泛應(yīng)用。但是同干擾觀測器一樣，ZPETC也存在一些缺點(diǎn)，比如在高頻段會有前饋增益現(xiàn)象，因此ZPETC通常與零相低通濾波器結(jié)合使用，保持ZPETC零相誤差的同時了高頻段的增益。
　　3)非線性補(bǔ)償
　　對于通常的的直線伺服系統(tǒng)，固有的非線性干擾因素主要還是是導(dǎo)軌產(chǎn)生的摩擦力。摩擦力是一種非常復(fù)雜的非線性現(xiàn)象，且難以準(zhǔn)確量化。基于摩擦力建模進(jìn)行補(bǔ)償成為了   基本也是應(yīng)用   為廣泛的補(bǔ)償方法。隨著摩擦學(xué)   的深入，先后出現(xiàn)了多種摩擦力模型，包括以經(jīng)典模型為代表的靜態(tài)摩擦力模型，以及以Dahl模型為代表的動態(tài)摩擦力模型，其中，基于經(jīng)典模型的摩擦力補(bǔ)償應(yīng)用   為廣泛。由于靜態(tài)摩擦力模型沒有考慮摩擦力的動態(tài)特性，如變化的突變力，預(yù)滑動狀態(tài)等，在定位精度要求較高的運(yùn)動控制中難以滿足性能需求。因此動態(tài)摩擦力模型日益受到重視，其中LuGre模型從Dahl模型發(fā)展而來，能   為準(zhǔn)確和   的描述摩擦力特性，《空氣靜壓導(dǎo)軌靜態(tài)性能的解析計算及分析》提出了一種基于狀態(tài)觀測器的LuGre模型建模和參數(shù)估計方法。直線電機(jī)的力波紋和齒槽力也會給系統(tǒng)帶來非線性干擾，   文獻(xiàn)中提出了基于離線經(jīng)驗(yàn)?zāi)Ｐ偷牧Σy前潰補(bǔ)償。
　　除了上述常見的校正和補(bǔ)償外，針對系統(tǒng)中可能出現(xiàn)的機(jī)械幾何誤差、熱效應(yīng)誤差，可以預(yù)   行誤差建模，或通過安裝相關(guān)傳感器測量的方法   系統(tǒng)的誤差值，再通過其他相應(yīng)的方式進(jìn)行補(bǔ)償。