超   技術(shù)是制造行業(yè)的未來發(fā)展趨勢，超   光學(xué)元器件具備的加工精度影響著超   加工機(jī)床的性能。制造企業(yè)要想提高加工機(jī)床的性能，就要注重加工機(jī)床核心部分的精度。也就是說，制造企業(yè)需要注重機(jī)械滑臺的精度。在超   機(jī)械滑臺中，其直線度、平面度、定位精度以及重復(fù)精度都會影響到加工精度。因此，制造企業(yè)的工作人員需要注重機(jī)械滑臺的測量工作，根據(jù)測量的結(jié)果分析機(jī)械滑臺的裝配效果，其各項(xiàng)參數(shù)符合加工要求。

一般來說，超   機(jī)械滑臺主要包括基座、導(dǎo)軌、光柵尺以及上滑臺等多個部分。在超   機(jī)械滑臺的裝配中，較重要的裝配工作是滑塊組件以及導(dǎo)軌的裝配，這兩個部分的裝配精度會對機(jī)械滑臺的定位精度造成直接的影響。另外，基座平面具備的直線度也會對滑臺的工作精度造成影響。具體而言，機(jī)械滑臺的裝配注意要點(diǎn)如下：超   機(jī)械滑臺的基座包括兩個平行度導(dǎo)軌以及滑塊組件安裝面，這一安裝面的裝配精度會對機(jī)械滑臺裝配完成之后的精度造成影響。如果基座平面的直線度不滿足加工要求，工作人員需要根據(jù)測量所得的數(shù)據(jù)重新進(jìn)行基座的研磨，以此基座具備較高的直線度，使其滿足基座的裝配要求。與此同時(shí)，因?yàn)榛▋蓚€導(dǎo)軌，所以工作人員需要遵循自為基準(zhǔn)原則，分別測量兩個的直線度，選擇直線度相對較高的導(dǎo)軌作為主導(dǎo)軌，首   行主導(dǎo)軌的裝配，在主導(dǎo)軌的基礎(chǔ)上裝配副導(dǎo)軌。

1、基座導(dǎo)軌直線度的測量

通過上述介紹可知，在進(jìn)行基座的裝配之前，需要測量導(dǎo)軌的直線度。在實(shí)際的測量工作中，工作人員需要應(yīng)用的氣浮測量平臺，首先基座和測量平臺保持平行狀態(tài)，再利用開關(guān)式磁力座將馬爾探頭僅僅鎖在測量平臺的工作面，并來回移動工作臺，在移動的過程中觀察馬爾測微儀呈現(xiàn)的數(shù)值，數(shù)值始終處于-100μm~+l00μm的量程內(nèi)。如果發(fā)現(xiàn)馬爾測微儀呈現(xiàn)的數(shù)值大于量程，需要采取相應(yīng)的措施調(diào)整工作臺的探針。需要注意的是，工作人員在測量的過程中，不可以使工作臺的指示燈出現(xiàn)紅色，因?yàn)榧t色指示燈的出現(xiàn)表明測量的結(jié)果無效。

在上述準(zhǔn)備工作完成之后，工作人員需要按照如下流程進(jìn)行基座直線度的測量：將基座平面按照60mm的規(guī)格進(jìn)行均等分，共選取九個點(diǎn)測量，等距離標(biāo)記的方式可以測量過程中探針可以準(zhǔn)確地落在標(biāo)記處，測量的準(zhǔn)確性；然后再通過較小二乘法得出測量點(diǎn)的直線度數(shù)值。需要注意的是，工作人員要加強(qiáng)工作臺移動速度的控制，因?yàn)楣ぷ髋_盡可以進(jìn)行同方向的測量，不可以進(jìn)行折返，移動速度的控制可以避免探針超過測量點(diǎn)的標(biāo)記位置。在探針測量的過程中，工作人員需要在標(biāo)記位置停留一段時(shí)間，   馬爾測微儀呈現(xiàn)的數(shù)值穩(wěn)定之后，再將數(shù)值記錄下來，進(jìn)行下一個測量點(diǎn)的測量。另外，工作人員在測量的過程中，需要實(shí)驗(yàn)室具備足夠安靜的環(huán)境，因?yàn)榄h(huán)境噪音會引起探針的震動，從而對馬爾測微儀的測量結(jié)果造成影響，使得測量數(shù)據(jù)出現(xiàn)誤差。

在經(jīng)過多次測量之后，工作人員需要選擇直線度相對較高的導(dǎo)軌作為主導(dǎo)軌，進(jìn)行機(jī)械滑臺的裝配。直線度的數(shù)值由較小二乘法處理所得。該方法是應(yīng)用參與誤差平方和較小的原理構(gòu)建理想直線，這種數(shù)據(jù)處理方法相對成熟，算法愛簡單，在直線度的測量中應(yīng)用廣泛。具體而言，工作人員需要將記錄的數(shù)據(jù)導(dǎo)入到ExCel中，利用散點(diǎn)圖進(jìn)行直線的擬合，并根據(jù)擬合直線計(jì)算出測量點(diǎn)和直線之間的距離。在多個測量點(diǎn)中，與直線的較大距離和較小距離之間的差值就是基座導(dǎo)軌直線度。

2、導(dǎo)軌的裝配

在選出主導(dǎo)軌之后，工作人員需要重新調(diào)整馬爾探頭，通過馬爾測微儀呈現(xiàn)的數(shù)值，調(diào)解主導(dǎo)軌上不同位置上螺栓應(yīng)用的預(yù)緊力，如果馬爾測微儀呈現(xiàn)的數(shù)值增加，則表示螺栓預(yù)緊力需要增加，如果相反，則表示螺栓預(yù)緊力需要降低；然后，工作人員需要再次通過均等分的方式獲取主導(dǎo)軌的直線度，利用多次測量的數(shù)據(jù)不斷調(diào)整，實(shí)現(xiàn)螺栓預(yù)緊力的較優(yōu)化，主導(dǎo)軌具備較高的直線度，滿足機(jī)械滑臺的裝配要求。因?yàn)橹鲗?dǎo)軌具備的直線度會對副導(dǎo)軌的安裝造成影響，所以工作人員需要合理調(diào)整主導(dǎo)軌的直線度，多次測量方法可以將主導(dǎo)軌直線度存在的直線誤差控制在微米級，為副導(dǎo)軌的裝配奠定良好的基礎(chǔ)。在主導(dǎo)軌裝配完成之后，工作人員需要自為基準(zhǔn)原則，將馬爾測微儀安裝在主導(dǎo)軌上，根據(jù)馬爾測微儀呈現(xiàn)數(shù)值的變化，對副導(dǎo)軌螺栓預(yù)緊力進(jìn)行調(diào)整，從而實(shí)現(xiàn)副導(dǎo)軌直線度的提升，完成基座的裝配。